用長程面形儀對變線距光柵的線密度進(jìn)行拼接測量

摘要： 隨著同步輻射光源中光束線的分辨率不斷提高，衍射光柵成為影響分辨率的關(guān)鍵因素，因此，在將光柵安裝到光束線之前，需要進(jìn)行準(zhǔn)確的測試。用長程面形儀測量合肥光源光電子能譜線所需的變線距光柵的線密度，光柵衍射角變化范圍超出長程面形儀的測量范圍，因此采用拼接測量。用數(shù)據(jù)重疊測試及數(shù)據(jù)處理方法，消除了轉(zhuǎn)臺定位誤差，有效抑制了隨機(jī)誤差，使光柵周期測量的重復(fù)性有較大提高。不同重疊率的測試結(jié)果顯示...