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熱電應(yīng)力下閃速存儲(chǔ)器耐擦寫次數(shù)預(yù)測方法

半導(dǎo)體技術(shù) 頁數(shù)： 6 2022-03-03
摘要： 針對閃速存儲(chǔ)器的擦寫測試與失效分析的需要，探究了基于阿倫尼斯模型的加速試驗(yàn)方法用于閃速存儲(chǔ)器的可行性，提出了一種熱電應(yīng)力下閃速存儲(chǔ)器耐擦寫次數(shù)的預(yù)測方法。
利用Silvaco TCAD仿真軟件建立閃速存儲(chǔ)器的存儲(chǔ)單元模型，探究了閾值電壓在熱電應(yīng)力下的退化趨勢以驗(yàn)證該方法的可行性。

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