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長(zhǎng)度傳感器

長(zhǎng)度傳感器(以下簡(jiǎn)稱(chēng)傳感器)主要由感受元件和轉(zhuǎn)換元件組成。轉(zhuǎn)換元件把感受元件感受的被測(cè)長(zhǎng)度精確地轉(zhuǎn)換為便于放大和處理的其他物理量。

  氣動(dòng)傳感器

  將被測(cè)長(zhǎng)度轉(zhuǎn)換為空氣壓力和流量等,用作相對(duì)測(cè)量(見(jiàn)長(zhǎng)度計(jì)量技術(shù))的傳感器。它的特點(diǎn)是可以用于不接觸測(cè)量,利用內(nèi)徑測(cè)頭(見(jiàn)氣動(dòng)量?jī)x)可以方便地測(cè)量孔徑,但示值范圍小,一般為±20~±100微米。圖1為采用波紋管作為尺寸轉(zhuǎn)換和放大元件的壓力式氣動(dòng)傳感器的工作原理。被測(cè)件厚度變化引起間隙S變化,S變化又引起波紋管內(nèi)壓力變化,從而使框架向左或向右移動(dòng)。移動(dòng)的距離就是放大了的被測(cè)厚度變化,通過(guò)寬刻度指示表指示出來(lái)。也可根據(jù)電觸點(diǎn)接觸與否,由指示燈指示被測(cè)厚度是否合格。壓力式氣動(dòng)傳感器還常采用膜片、膜盒等作為轉(zhuǎn)換元件。常見(jiàn)的流量式氣動(dòng)傳感器主要由測(cè)頭、浮子和錐度玻璃管等組成。

  電學(xué)傳感器

  將被測(cè)長(zhǎng)度直接轉(zhuǎn)換為電量的傳感器,主要有電感式、電容式、電接解式、壓電式、磁柵式和感應(yīng)同步器式等。圖2為一種管式結(jié)構(gòu)的電感式傳感器的工作原理。當(dāng)磁芯位于線圈1、2的中間位置時(shí),兩線圈產(chǎn)生的電感量相等。此時(shí),由線圈1、2和振蕩變壓器次級(jí)線圈組成的電橋保持平衡。當(dāng)帶磁芯的測(cè)桿上下移動(dòng)時(shí),兩線圈產(chǎn)生的電感量不等,電橋不平衡,有電壓U0輸出。U0的大小與測(cè)桿移動(dòng)距離成比例。電感式傳感器配以相應(yīng)的電子放大和指示部分,便成為電感測(cè)微儀。電感式傳感器的分辨率很高,可達(dá)0.01微米,測(cè)量范圍一般小于2毫米,大的可達(dá)幾十毫米。電容式傳感器與電感式傳感器的原理相似,一般是把線圈和磁芯換成固定極筒和可動(dòng)極筒,當(dāng)測(cè)桿移動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的是電容量變化。20世紀(jì)80年代初出現(xiàn)了用于電子卡尺的大量程電容傳感器,測(cè)量范圍為150毫米。電接觸式傳感器是利用電觸點(diǎn)副發(fā)出電信號(hào)判別被測(cè)尺寸合格與否的。電觸點(diǎn)的移動(dòng)可由測(cè)桿直接傳來(lái),也可經(jīng)杠桿或其他機(jī)構(gòu)放大,以提高其靈敏度。電接觸式傳感器主要用于自動(dòng)測(cè)量中。壓電式傳感器是利用受壓變形時(shí)會(huì)產(chǎn)生電荷的固體材料,例如石英晶體、鋯鈦酸鋁、鈮鎂酸鋁等作為轉(zhuǎn)換元件的,主要用于輕便的上置式表面粗糙度測(cè)量?jī)x中。

  光電傳感器

  將被測(cè)長(zhǎng)度先轉(zhuǎn)換為光量,再轉(zhuǎn)換為電量輸出的傳感器。常見(jiàn)的有光柵式(見(jiàn)光柵測(cè)長(zhǎng)技術(shù))、激光式、固體陣列式和光導(dǎo)纖維式等。激光式又可分為光波干涉式、掃瞄式和光強(qiáng)式等(見(jiàn)激光測(cè)長(zhǎng)技術(shù))。固體陣列傳感器是70年代初期出現(xiàn)的一種圖象傳感器。固體陣列是一種線型或面型的光電轉(zhuǎn)換元件。其中用得較多的是電荷耦合器件(圖3)。它是一種在硅芯片的一面沉積柵電極結(jié)構(gòu)的器件。柵電極和硅芯片間有一層約為0.1~0.12微米厚的SiO2透明絕緣層,形成電容陣列。由于柵電極可以透光,硅芯片是一種光敏材料,當(dāng)光照射在其上時(shí),在內(nèi)部產(chǎn)生電荷載流子,并被收集和存儲(chǔ)在硅芯片的勢(shì)阱中。勢(shì)阱是當(dāng)在柵電極上加正電壓時(shí),在電場(chǎng)的作用下,與電極相鄰的硅芯片表面的正電荷被推離后形成的一個(gè)耗盡層。存儲(chǔ)在勢(shì)阱中的電荷載流子,在適當(dāng)?shù)臅r(shí)候會(huì)穿透芯片,經(jīng)電荷放大器后輸出。勢(shì)阱是芯片中的分立單元,其分辨率可達(dá)0.01毫米或更高。將被測(cè)尺寸、圖象等以光掃描或投影等方法投射在電荷耦合器件上時(shí),光信號(hào)即轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出,經(jīng)電路處理后即可得到被測(cè)尺寸等的量值。固體陣列傳感器適用于小型復(fù)雜形狀工件的多尺寸自動(dòng)測(cè)量。一次投影或光掃描可以測(cè)量幾十個(gè)尺寸。光導(dǎo)纖維傳感器主要用于測(cè)量微小位移和精密定位。

  術(shù)語(yǔ)解說(shuō)

  分辨率

  在測(cè)定對(duì)象物靜止時(shí),以距離來(lái)?yè)Q算線性輸出的擺動(dòng)幅度,區(qū)別在數(shù)字輸出時(shí)數(shù)據(jù)偏差的幅度和分辨率,稱(chēng)為重復(fù)精度。

  響應(yīng)時(shí)間

  物體的位移和寬度是在步進(jìn)變化時(shí)的線性輸出。為了使模擬輸出在10~90%內(nèi)變化,以「響應(yīng)時(shí)間」來(lái)表現(xiàn)所需的時(shí)間。

  直線性(線性)

  線性輸出相對(duì)于理想直線的誤差。

  通常將其與整個(gè)測(cè)定范圍(FullScale:FS)相比,以百分比的形式來(lái)表示,如1%FS。

  傳感器參數(shù)

  應(yīng)用:適用于汽車(chē)起重機(jī)等

  技術(shù)參數(shù):

  測(cè)量范圍0~90m,0~45m尺寸

  重復(fù)性<0.03%F.s

  輸出信號(hào)4~20mA0~5V

  溫度范圍-10˙C~+70˙C

  電壓范圍DC15~36V

  絕緣電阻〉5000MΩ50V

  線性<0.3%F.s

  應(yīng)用領(lǐng)域編輯

  螺紋鋼、鐵絲、鋼帶、鋼板、鋼軌等在線長(zhǎng)度測(cè)量。


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