霍爾效應(yīng)是研究半導(dǎo)體材料性能的基本方法。通過霍爾效應(yīng)實驗測定的霍爾系數(shù),能夠判斷半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電類型、載流子濃度及載流子遷移率等重要參數(shù)。
原理
由霍爾效應(yīng)的原理知,霍爾電勢的大小取決于:Rh為霍爾常數(shù),它與半導(dǎo)體材質(zhì)有關(guān);IC為霍爾元件的偏置電流;B為磁場強度;d為半導(dǎo)體材料的厚度。
對于一個給定的霍爾器件,當偏置電流Ic固定時,Vh將完全取決于被測的磁場強度B。
一個霍爾元件一般有四個引出端子,其中兩根是霍爾元件的偏置電流IC的輸入端,另兩根是霍爾電壓的輸出端。如果兩輸出端構(gòu)成外回路,就會產(chǎn)生霍爾電流。一般地說,偏置電流的設(shè)定通常由外部的基準電壓源給出;若精度要求高,則基準電壓源均用恒流源取代。為了達到高的靈敏度,有的霍爾元件的傳感面上裝有高導(dǎo)磁系數(shù)的坡莫合金;這類傳感器的霍爾電勢較大,但在0.05T左右出現(xiàn)飽和,僅適用在低量限、小量程下使用。
在半導(dǎo)體薄片兩端通以控制電流I,并在薄片的垂直方向施加磁感應(yīng)強度為B的勻強磁場,則在垂直于電流和磁場的方向上,將產(chǎn)生電勢差為UH的霍爾電壓。
元件
根據(jù)霍爾效應(yīng),人們用半導(dǎo)體材料制成的元件叫霍爾元件。它具有對磁場敏感、結(jié)構(gòu)簡單、體積小、頻率響應(yīng)寬、輸出電壓變化大和使用壽命長等優(yōu)點,因此,在測量、自動化、計算機和信息技術(shù)等領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。
分類
霍爾傳感器分為線型霍爾傳感器和開關(guān)型霍爾傳感器兩種。
?。ㄒ唬╅_關(guān)型霍爾傳感器由穩(wěn)壓器、霍爾元件、差分放大器,斯密特觸發(fā)器和輸出級組成,它輸出數(shù)字量。開關(guān)型霍爾傳感器還有一種特殊的形式,稱為鎖鍵型霍爾傳感器。
?。ǘ┚€性型霍爾傳感器由霍爾元件、線性放大器和射極跟隨器組成,它輸出模擬量。
線性霍爾傳感器又可分為開環(huán)式和閉環(huán)式。閉環(huán)式霍爾傳感器又稱零磁通霍爾傳感器。線性霍爾傳感器主要用于交直流電流和電壓測量。.
開關(guān)型
如圖4所示,其中BOP為工作點“開”的磁感應(yīng)強度,BRP為釋放點“關(guān)”的磁感應(yīng)強度。當外加的磁感應(yīng)強度超過動作點Bop時,傳感器輸出低電平,當磁感應(yīng)強度降到動作點Bop以下時,傳感器輸出電平不變,一直要降到釋放點BRP時,傳感器才由低電平躍變?yōu)楦唠娖健op與BRP之間的滯后使開關(guān)動作更為可靠。
鎖鍵型
如圖5所示,當磁感應(yīng)強度超過動作點Bop時,傳感器輸出由高電平躍變?yōu)榈碗娖?,而在外磁場撤消后,其輸出狀態(tài)保持不變(即鎖存狀態(tài)),必須施加反向磁感應(yīng)強度達到BRP時,才能使電平產(chǎn)生變化。
線性型
輸出電壓與外加磁場強度呈線性關(guān)系,如圖3所示,可見,在B1~B2的磁感應(yīng)強度范圍內(nèi)有較好的線性度,磁感應(yīng)強度超出此范圍時則呈現(xiàn)飽和狀態(tài)。
開環(huán)式電流傳感器
由于通電螺線管內(nèi)部存在磁場,其大小與導(dǎo)線中的電流成正比,故可以利用霍爾傳感器測量出磁場,從而確定導(dǎo)線中電流的大小。利用這一原理可以設(shè)計制成霍爾電流傳感器。其優(yōu)點是不與被測電路發(fā)生電接觸,不影響被測電路,不消耗被測電源的功率,特別適合于大電流傳感。 霍爾電流傳感器工作原理如圖6所示,標準圓環(huán)鐵芯有一個缺口,將霍爾傳感器插入缺口中,圓環(huán)上繞有線圈,當電流通過線圈時產(chǎn)生磁場,則霍爾傳感器有信號輸出。
閉環(huán)式電流傳感器
磁平衡式電流傳感器也叫霍爾閉環(huán)電流傳感器,也稱補償式傳感器,即主回路被測電流Ip在聚磁環(huán)處所產(chǎn)生的磁場通過一個次級線圈,電流所產(chǎn)生的磁場進行補償, 從而使霍爾器件處于檢測零磁通的工作狀態(tài)。
磁平衡式電流傳感器的具體工作過程為:當主回路有一電流通過時,在導(dǎo)線上產(chǎn)生的磁場被聚磁環(huán)聚集并感應(yīng)到霍爾器件上, 所產(chǎn)生的信號輸出用于驅(qū)動相應(yīng)的功率管并使其導(dǎo)通,從而獲得一個補償電流Is。 這一電流再通過多匝繞組產(chǎn)生磁場 ,該磁場與被測電流產(chǎn)生的磁場正好相反,因而補償了原來的磁場, 使霍爾器件的輸
出逐漸減小。當與Ip與匝數(shù)相乘 所產(chǎn)生的磁場相等時,Is不再增加,這時的霍爾器件起指示零磁通的作用 ,此時可以通過Is來平衡。被測電流的任何變化都會破壞這一平衡。 一旦磁場失去平衡,霍爾器件就有信號輸出。經(jīng)功率放大后,立即就有相應(yīng)的電流流過次級繞組以對失衡的磁場進行補償。從磁場失衡到再次平衡,所需的時間理論上不到1μs,這是一個動態(tài)平衡的過程。
霍爾電流傳感器具有以下優(yōu)點:
1、 霍爾傳感器可以測量任意波形的電流和電壓,如:直流、交流、脈沖波形等,甚至對瞬態(tài)峰值的測量。副邊電流忠實地反應(yīng)原邊電流的波形。而普通互感器則是無法與其比擬的,它一般只適用于測量50Hz正弦波;
2、 原邊電路與副邊電路之間有良好的電氣隔離;
3、精度高:在工作溫度區(qū)內(nèi)精度優(yōu)于1%,該精度適合于任何波形的測量;
4、線性度好:優(yōu)于0.1%;
5、寬帶寬:高帶寬的電流傳感器上升時間可小于1μs;
6、測量范圍:霍爾傳感器為系列產(chǎn)品,電流測量可達50KA,電壓測量可達6400V。
7、過載能力強:當原邊電流超負荷,模塊達到飽和,可自動保護,即使過載電流是額定值的20倍時,模塊也不會損壞。
霍爾電流傳感器使用時,需遵循以下注意事項:
1、為了得到較好的動態(tài)特性和靈敏度,必須注意原邊線圈和副邊線圈的耦合,要耦合得好,最好用單根導(dǎo)線且導(dǎo)線完全填滿霍爾傳感器模塊孔徑。
2、使用中當大的直流電流流過傳感器原邊線圈,且次級電路沒有接通電源|穩(wěn)壓器或副邊開路,則其磁路被磁化,而產(chǎn)生剩磁,影響測量精度(故使用時要先接通電源和測量端M),發(fā)生這種情況時,要先進行退磁處理。其方法是次邊電路不加電源,而在原邊線圈中通一同樣等級大小的交流電流并逐漸減小其值。
3、霍爾傳感器都具有較強的抗外磁場干擾能力,但是,為了獲得較高的測量準確度,當有較強的磁場干擾時,要采取適當?shù)拇胧﹣斫鉀Q。通常方法有:
調(diào)整模塊方向,使外磁場對模塊的影響最小;
在模塊上加罩一個抗磁場的金屬屏蔽罩。
4、測量的最佳精度是在額定值下得到的,當被測電流遠低于額定值時,要獲得最佳精度,原邊可使用多匝,但是,需要注意導(dǎo)線的空間位置(參照第一條)。
應(yīng)用
霍爾器件具有許多優(yōu)點,它們的結(jié)構(gòu)牢固,體積小,重量輕,壽命長,安裝方便,功耗小,頻率高(可達1MHZ),耐震動,不怕灰塵、油污、水汽及鹽霧等的污染或腐蝕。
霍爾線性器件的精度高、線性度好;霍爾開關(guān)器件無觸點、無磨損、輸出波形清晰、無抖動、無回跳、位置重復(fù)精度高(可達μm級)。取用了各種補償和保護措施的霍爾器件的工作溫度范圍寬,可達-55℃~150℃。
按被檢測的對象的性質(zhì)可將它們的應(yīng)用分為:直接應(yīng)用和間接應(yīng)用。前者是直接檢測出受檢測對象本身的磁場或磁特性,后者是檢測受檢對象上人為設(shè)置的磁場,用這個磁場來作被檢測的信息的載體,通過它,將許多非電、非磁的物理量例如力、力矩、壓力、應(yīng)力、位置、位移、速度、加速度、角度、角速度、轉(zhuǎn)數(shù)、轉(zhuǎn)速以及工作狀態(tài)發(fā)生變化的時間等,轉(zhuǎn)變成電量來進行檢測和控制。
位移測量
兩塊永久磁鐵同極性相對放置,將線性型霍爾傳感器置于中間,其磁感應(yīng)強度為零,這個點可作為位移的零點,當霍爾傳感器在Z軸上作△Z位移時,傳感器有一個電壓輸出,電壓大小與位移大小成正比。
力測量
如果把拉力、壓力等參數(shù)變成位移,便可測出拉力及壓力的大小,按這一原理可制成的力傳感器。
角速度測量
在非磁性材料的圓盤邊上粘一塊磁鋼,霍爾傳感器放在靠近圓盤邊緣處,圓盤旋轉(zhuǎn)一周,霍爾傳感器就輸出一個脈沖,從而可測出轉(zhuǎn)數(shù)(計數(shù)器),若接入頻率計,便可測出轉(zhuǎn)速。
線速度測量
如果把開關(guān)型霍爾傳感器按預(yù)定位置有規(guī)律地布置在軌道上,當裝在運動車輛上的永磁體經(jīng)過它時,可以從測量電路上測得脈沖信號。根據(jù)脈沖信號的分布可以測出車輛的運動速度。
注意事項
?。?)電流傳感器必須根據(jù)被測電流的額定有效值適當選用不同的規(guī)格的產(chǎn)品。被測電流長時間超額,會損壞末極功放管(指磁補償式),一般情況下,2倍的過載電流持續(xù)時間不得超過1分鐘。
?。?)電壓傳感器必須按產(chǎn)品說明在原邊串入一個限流電阻R1,以使原邊得到額定電流,在一般情況下,2倍的過壓持續(xù)時間不得超過1分鐘。
(3)電流電壓傳感器的最佳精度是在原邊額定值條件下得到的,所以當被測電流高于電流傳感器的額定值時,應(yīng)選用相應(yīng)大的傳感器;當被測電壓高于電壓傳感器的額定值時,應(yīng)重新調(diào)整限流電阻。當被測電流低于額定值1/2以下時,為了得到最佳精度,可以使用多繞圈數(shù)的辦法。
?。?)絕緣耐壓為3KV的傳感器可以長期正常工作在1KV及以下交流系統(tǒng)和1.5KV及以下直流系統(tǒng)中,6KV的傳感器可以長期正常工作在2KV及以下交流系統(tǒng)和2.5KV及以下直流系統(tǒng)中,注意不要超壓使用。
?。?)在要求得到良好動態(tài)特性的裝置上使用時,最好用單根銅鋁母排并與孔徑吻合,以大代小或多繞圈數(shù),均會影響動態(tài)特性。
?。?)在大電流直流系統(tǒng)中使用時,因某種原因造成工作電源開路或故障,則鐵心產(chǎn)生較大剩磁,是值得注意的。剩磁影響精度。退磁的方法是不加工作電源,在原邊通一交流并逐漸減小其值。
(7)傳感器抗外磁場能力為:距離傳感器5~10cm一個超過傳感器原邊電流值2倍的電流,所產(chǎn)生的磁場干擾可以抵抗。三相大電流布線時,相間距離應(yīng)大于5~10cm。
?。?)為了使傳感器工作在最佳測量狀態(tài),應(yīng)使用圖1-10介紹的簡易典型穩(wěn)壓電源。
?。?)傳感器的磁飽和點和電路飽和點,使其有很強的過載能力,但過載能力是有時間限制的,試驗過載能力時,2倍以上的過載電流不得超過1分鐘。
(10)原邊電流母線溫度不得超過85℃,這是ABS工程塑料的特性決定的,用戶有特殊要求,可選高溫塑料做外殼。
案例
霍爾傳感器技術(shù)應(yīng)用于汽車工業(yè)
霍爾傳感器技術(shù)在汽車工業(yè)中有著廣泛的應(yīng)用,包括動力、車身控制、牽引力控制以及防抱死制動系統(tǒng)。為了滿足不同系統(tǒng)的需要,霍爾傳感器有開關(guān)式、模擬式和數(shù)字式傳感器三種形式。[1]
霍爾傳感器可以采用金屬和半導(dǎo)體等制成,效應(yīng)質(zhì)量的改變?nèi)Q于導(dǎo)體的材料,材料會直接影響流過傳感器的正離子和電子。制造霍爾元件時,汽車工業(yè)通常使用三種半導(dǎo)體材料,即砷化鎵、銻化銦以及砷化銦。最常用的半導(dǎo)體材料當屬砷化銦。
霍爾傳感器的形式?jīng)Q定了放大電路的不同,其輸出要適應(yīng)所控制的裝置。這個輸出可能是模擬式,如加速位置傳感器或節(jié)氣門位置傳感器,也可能是數(shù)字式。如曲軸或凸輪軸位置傳感器。
當霍爾元件用于模擬式傳感器時,這個傳感器可以用于空調(diào)系統(tǒng)中的溫度表或動力控制系統(tǒng)中的節(jié)氣門位置傳感器?;魻栐c微分放大器連接,放大器與NPN晶體管連接。磁鐵固定在旋轉(zhuǎn)軸上,軸在旋轉(zhuǎn)時,霍爾元件上的磁場加強。其產(chǎn)生的霍爾電壓與磁場強度成比例。
當霍爾元件用于數(shù)字信號時,例如曲軸位置傳感器、凸輪軸位置傳感器或車速傳感器,必須首先改變電路。霍爾元件與微分放大器連接,微分放大器與施密特觸發(fā)器連接。在這種配置中。傳感器輸出一個開或關(guān)的信號。在多數(shù)汽車電路中,霍爾傳感器是電流吸收器或者使信號電路接地。要完成這項工作,需要一個NPN晶體管與施密特觸發(fā)器的輸出連接。磁場穿過霍爾元件,一個觸發(fā)器輪上的葉片在磁場和霍爾元件之間通過。
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