ICP

　　電感耦合等離子體（ICP）是目前用于原子發(fā)射光譜的主要光源。ICP具有環(huán)形結(jié)構(gòu)，溫度高，電子密度高，惰性氣氛等特點(diǎn)。用它做激發(fā)光源具有檢出限低，線性范圍廣，電離和化學(xué)干擾少，準(zhǔn)確度和精密度高等分析性能。

　　ICP還可以作為原子化器，如以空心陰極燈為光源，ICP為原子化器的原子熒光光譜儀。這類儀器不采用單色器，以ICP為中心，在周圍安裝多個檢測單元（每一元素配一個檢測單元），形成了多元素分析系統(tǒng).ICP作為原子化器最大的優(yōu)點(diǎn)在于原子化器具有很高的溫度，多種元素都可得到很好地原子化，散射問題也得到的克服。由計算機(jī)控制，燈電源順序地向各檢測單元的空心陰極燈供電（2，000次/秒），所產(chǎn)生的熒光由相應(yīng)的光電倍增管檢測，光電轉(zhuǎn)換后的電信號在放大后由計算機(jī)處理，并報出各元素的分析結(jié)果。不過，值得提出的是，以ICP為原子化器的原子熒光光譜儀對難熔元素的測定靈敏度不高。